در دنیای پیچیده ساخت نیمه هادی ها، جایی که دستکاری ماده در مقیاس اتمی رخ می دهد، کاشت یون به عنوان یک فناوری سنگ بنا می باشد. این فرآیند، که دقیقاً ویفرهای سیلیکونی را با یونهای ناخالص بمباران میکند تا خواص الکتریکی آنها را تنظیم کند، بر یک نقطه شروع حیاتی متکی است: ایجاد یک پرتو یونی خالص و پایدار. در قلب منبع یونی-موتور این سیستم پیچیده-جزئی قرار دارد که انعطافپذیری را در شرایط شدید نشان میدهد: رشته تنگستن.
این سیم پیچ خورده محقر در واقع یک شگفتی از علم مواد است. محیط های کاشت یون به طرز وحشیانه ای خصمانه هستند: آنها گرمای شدید، مواد شیمیایی خورنده از گازهایی مانند BF3 یا PH3 و بمباران ذرات ثابت را ترکیب می کنند. رشته ای که اغلب به عنوان کاتد عمل می کند، باید تا حد تابش گرم شود تا الکترون های لازم برای اشتعال و حفظ پلاسما منتشر شود. خرابی در اینجا منجر به ناپایداری پرتو، آلودگی فلزی و توقف تولید پرهزینه می شود.
چرا تنگستن برای این نقش حکمفرماست؟ پاسخ در خواص بی نظیر آن نهفته است:
مقاومت در برابر دمای شدید: با بالاترین نقطه ذوب تمام فلزات (3422 درجه)، رشته تنگستن یکپارچگی ساختاری را در زمانی که سایر فلزات از کار میافتند حفظ میکند.
مقاومت برتر در برابر کندوپاش: در برابر فرسایش ناشی از بمباران پلاسما مقاومت می کند و عمر طولانی تر و پرتوهای یونی خالص تر را تضمین می کند.
انتشار عالی الکترون: خواص ترمیونی آن برای تولید جریان الکترون ثابت مورد نیاز برای تولید پلاسمای پایدار، به ویژه در منابع کاتد گرمای غیرمستقیم (IHC) ایده آل است.
نیازهای تراشههای{0} نسل بعدی، از جمله تراشههای کاربید سیلیکون (SiC) و نیترید گالیوم (GaN)، فناوری کاشت را بیشتر میکند. این امر نیاز به مؤلفههای منبع قابل اعتمادتر-با عملکرد بالا را افزایش میدهد. رشته تنگستن از یک سیم ساده به یک ماده مصرفی مهندسی شده دقیق تبدیل شده است، با پیشرفت هایی در کنترل ساختار دانه و دوپینگ (مثلاً با-اکسیدهای خاکی کمیاب) که دوام و کارایی انتشار آن را افزایش داده است.
تأمین منابع این مؤلفههای{0}} حیاتی به شریکی با تخصص متالورژی عمیق و تعهد به دقت نیاز دارد. برای بیش از دو دهه، Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W/Mo از سال 2004) یک نام قابل اعتماد در فلزات نسوز پیشرفته بوده است. Kingdon متخصص در محصولات تنگستن و مولیبدن،-مواد با خلوص بالا و تولید مداوم مواد ضروری برای کاربردهای سخت مانند کاشت یون را فراهم می کند.
برای مهندسان و متخصصان تدارکات که به دنبال اجزای منبع یون قابل اعتماد هستند، از جمله رشتههای تنگستن{0}با کارایی بالا، Zhuzhou Kingdon تخصص و برتری تولیدی اثبات شده را ارائه میدهد.
Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W/Mo از سال 2004)
اضافه کنید: شماره 9 جاده ژونگدا، پارک صنعتی پیشرفته-، ژوژو، هونان، چین
تلفن: +86-731 28470377 / 22868227
فکس: +86-731 28410491
وب:www.kdmet.com
